Veolia Water Technologies & Solutions

Analizador de agua ultrapura en línea Sievers Boron Ultra

Monitoreo continuo en línea de boro hasta niveles de partes individuales por billón (ppt)

A medida que los chips semiconductores se reducen y se vuelven más complejos, la demanda de agua ultrapura (UPW) de alta calidad es crítica. Incluso la más mínima contaminación puede causar defectos significativos, lo que hace que la detección temprana de impurezas sea esencial en la fabricación de microelectrónica.

¿Qué está en riesgo? Rendimiento del producto, procesos posteriores y costos innecesarios.

El analizador Sievers Boron Ultra proporciona monitoreo continuo en línea sin supervisión de las concentraciones de boro en procesos de agua ultrapura con sensibilidad de partes por billón (ppt). Esto favorece el cumplimiento de las especificaciones de bucle primario y de pulido y permite a los fabricantes optimizar el tiempo de regeneración del lecho de resina de intercambio iónico (IX). El monitoreo de boro es la estrategia de control de procesos IX más proactiva y es muy superior al monitoreo de contaminación iónica o de sílice.

 

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Rendimiento en línea y optimización de procesos

El analizador Sievers Boro Ultra puede reducir significativamente los gastos operativos y mantener la calidad de los sistemas de agua ultrapura.

Boron Ultra detecta un aumento del boro antes de la liberación de la sílice, lo que lo convierte en una herramienta fundamental para evitar la fuga de sílice coloidal e iónica en el agua ultrapura. Se utiliza para predecir el desgaste de la resina IX de lecho mixto, optimizar el rendimiento de la electrodeionización (EDI) y controlar los niveles de contaminación primaria y del ciclo de pulido.

Boron Ultra es compatible con el límite de 50 ppt de boro de la Hoja de ruta internacional para dispositivos y sistemas (IRDS) en UPW semiconductores, lo que respalda el control de la contaminación por boro y sílice.

El Sievers Boron Ultra fue diseñado en cooperación con fabricantes de semiconductores para satisfacer las necesidades de los gerentes de las instalaciones, los propietarios de sistemas de agua ultrapura y los ingenieros de control de procesos de agua ultrapura. El monitoreo de boro es la estrategia de control de procesos de intercambio iónico más proactiva y es muy superior al monitoreo de contaminación iónica o de sílice.

  • Sensibilidad de partes por billón (ppt)
  • 20 puntos de datos por hora
  • Cumplimiento de las especificaciones de bucle primario y de pulido
  • Optimización de la regeneración de resinas de intercambio iónico
  • Control de la contaminación por sílice y boro

Características y beneficios

Características y beneficios de Boron Ultra

  • Monitoreo continuo en línea de hasta partes individuales por billón (ppt) de boro
  • 20 puntos de datos por hora
  • Cumplimiento de las especificaciones de bucle primario y de pulido
  • Cumple con todos los requisitos de las marcas UKCA y CE
  • Opciones de múltiples flujos: disponibles en un flujo y dos flujos
  • Interfaz gráfica de usuario moderna e intuitiva con pantalla táctil de 10,1" retroiluminada por LED multicolor
  • Amplio conjunto de salidas: dos salidas analógicas aisladas de 4-20 mA; dos salidas de alarma; dos salidas binarias aisladas; dos puertos USB 2.0; y un puerto Gigabit Ethernet
  • Mantenimiento e insumos mínimos

Aplicaciones: semiconductores y microelectrónica, agua de proceso ultrapura / UPW

  • Control de la contaminación
  • Cumplimiento
  • Optimización de la regeneración de resinas
  • Control de procesos

Especificaciones

Especificaciones de Boro Ultra

Especificaciones de operación

Rango 0.010 - 100 ppb B
Límite de cuantificación (LOQ) 0.030 ppb B  
Límite de detección (LOD) 0.010 ppb B
Exactitud ± 0.01 ppb B <0.03 ppb B
± 15%, ≥ 0.03 ppb B
Precisión SD ≤ 0.003 ppb B, ≤  0.100 ppb B RSD ≤ 3%, > 0.100 ppb B 
Muestra mínima
Resistividad

15 MΩ–cm

Temperatura de la muestra 15°-40°C (59-104°F)
Caudal de muestra 50-400 mL/min
Presión de la muestra 103-689 kPa (15-100 psig)
Estabilidad de calibración Normalmente 12 meses
Partículas de muestra Prefiltración de 15 micras
Residuos Drenaje por gravedad (sin contrapresión), ventilado
Modos de análisis En línea, promediado y cronometrado en línea
Tiempo de análisis1 3 minutos u 6 minutos

Especificaciones del analizador

Requisitos de energía 100-240 VCA, 40 W4, 50/60 Hz
Certificaciones de seguridad Listado en CE, UKCA, ETL. Cumple con la norma UL 61010-1. Certificado según CSA 22.2 No. 61010-1.
Pantalla

Pantalla LED retroiluminada, 10,1 pulgadas, 1280 x 800 con pantalla táctil

Clasificación IP IP 45
Entradas 3 entradas binarias aisladas
Salidas 2 salidas analógicas aisladas de 4-20 mA5; 2 salidas de alarma; 2 salidas binarias aisladas; 2 puertos USB 2.06 (uno externo y otro interno); Puerto Ethernet de 1 Gigabit;
Protocolos de comunicación Modbus TCP/IP
Sobretensión transitoria Instalación (sobretensión) Categoría II (Grado de contaminación ambiental del instrumento 2 asumido con el fin de probar y juzgar la integridad del aislamiento)
Dimensiones 54,2 cm de alto x 59,3 de ancho x 38,8 de profundidad (21,35 de alto x 23,35 de ancho x 15,27 pulgadas de profundidad)
Peso Vacío: 21,75 kg (48 lb); Con consumibles: 23,1 kg (51 lb)
Espacios libres mínimos (para el control de la temperatura, la humedad y el acceso) Frente: 48,3 cm (19 pulg); Trasero 2,5 cm (1 pulgadas); Lados: 30,5 cm (12 pulgadas) de cada lado; Parte superior: 30,5 cm (12 pulgadas); Abajo: Los soportes del analizador proporcionan espacio libre para el escritorio.
Configuraciones disponibles Una o dos secuencias (opcional)
Temperatura ambiente 10-40°C (50-104 °F)
Altitud Diseñado para su uso en altitudes de hasta 2000 m (6561 pies)
Humedad relativa máxima Hasta el 95%, sin condensación

Insumos

Reactivo de boro

45 días con una frecuencia de muestreo de 3 minutos8; 90 días con una frecuencia de muestreo de 6 minutos8

Columna de reactivo 12 meses
Columna cero 12 meses
Cabezal de bomba peristáltica 12 meses