Analizador de agua ultrapura en línea Sievers Boron Ultra
Monitoreo continuo en línea de boro hasta niveles de partes individuales por billón (ppt)
A medida que los chips semiconductores se reducen y se vuelven más complejos, la demanda de agua ultrapura (UPW) de alta calidad es crítica. Incluso la más mínima contaminación puede causar defectos significativos, lo que hace que la detección temprana de impurezas sea esencial en la fabricación de microelectrónica.
¿Qué está en riesgo? Rendimiento del producto, procesos posteriores y costos innecesarios.
El analizador Sievers Boron Ultra proporciona monitoreo continuo en línea sin supervisión de las concentraciones de boro en procesos de agua ultrapura con sensibilidad de partes por billón (ppt). Esto favorece el cumplimiento de las especificaciones de bucle primario y de pulido y permite a los fabricantes optimizar el tiempo de regeneración del lecho de resina de intercambio iónico (IX). El monitoreo de boro es la estrategia de control de procesos IX más proactiva y es muy superior al monitoreo de contaminación iónica o de sílice.
Rendimiento en línea y optimización de procesos
El analizador Sievers Boro Ultra puede reducir significativamente los gastos operativos y mantener la calidad de los sistemas de agua ultrapura.
Boron Ultra detecta un aumento del boro antes de la liberación de la sílice, lo que lo convierte en una herramienta fundamental para evitar la fuga de sílice coloidal e iónica en el agua ultrapura. Se utiliza para predecir el desgaste de la resina IX de lecho mixto, optimizar el rendimiento de la electrodeionización (EDI) y controlar los niveles de contaminación primaria y del ciclo de pulido.
Boron Ultra es compatible con el límite de 50 ppt de boro de la Hoja de ruta internacional para dispositivos y sistemas (IRDS) en UPW semiconductores, lo que respalda el control de la contaminación por boro y sílice.
El Sievers Boron Ultra fue diseñado en cooperación con fabricantes de semiconductores para satisfacer las necesidades de los gerentes de las instalaciones, los propietarios de sistemas de agua ultrapura y los ingenieros de control de procesos de agua ultrapura. El monitoreo de boro es la estrategia de control de procesos de intercambio iónico más proactiva y es muy superior al monitoreo de contaminación iónica o de sílice.
- Sensibilidad de partes por billón (ppt)
- 20 puntos de datos por hora
- Cumplimiento de las especificaciones de bucle primario y de pulido
- Optimización de la regeneración de resinas de intercambio iónico
- Control de la contaminación por sílice y boro